南方财经全媒体记者江月上海报道位于顿涅茨克的马里乌波尔（Mariupol）是一个拥有百年历史的冶金重镇，如今，它也在全球电子产业用特种气体供应链上扮演重要的角色。近期，俄乌局势持续紧张，马里乌波尔的特种气体出口受阻，导致全球半导体公司正在紧张地盘点相关生产材料的供应情况。

在半导体这种全球协同性很高的产业中，地球上的任一角落都有可能掌握着链条里的某一环节。数据显示，马里乌波尔、基辅、敖德萨等地是电子工业用特气的重要生产地，仅此一环就可能给半导体本已相当紧张的全球供应链带来进一步的损害。

多家咨询机构的市场情报指出，乌克兰是全球最重要的氖气产地之一，也生产氪气、氩气、氙气等用在半导体制造里的特种气体，而俄罗斯则把控着钯金出产和其他个别种类的电子用气制造。

冲突阻碍生产和出口

美国海关记录显示，最近至少在2021年11月，马里乌波尔的工厂还在通过船运的方式向美国纽约州的公司出口惰性气体氖气（neon）。不过2月27日，央视新闻客户端消息称，俄罗斯国防部当天表示，乌克兰军方于26日向马里乌波尔郊区的住宅区和一所学校发射了炮弹，目前乌克兰方面尚未回应。

上述消息反映马里乌波尔正处于地缘政治的漩涡中，往昔的生活和生产节奏难免遭到不同程度的干扰。截至北京时间2月27日晚，马里乌波尔的工业用气制造商Ingas没有回应南方财经全媒体记者于25日发送的电邮。

Ingas成立于1994年，是顿巴斯地区一大龙头气体制造商，生产惰性气体、医用气体、仪表气体等，其中在惰性气体方面生产氙气、氪气、氖气、氦气等。美国海关数据显示，Ingas的压缩氖气此前被出口到美国的一些气体制造商处，这说明Ingas为环球特种气体制造商提供了气体原料。

当前，身处马里乌波尔、基辅、敖德萨等地的工厂都处于地缘冲突地带，相关的出口变得难以预测，半导体行业近期不得不仔细检视供应链的完整性。

市场咨询机构TrendForce于2月15日发布报告称，乌克兰是全球半导体行业的重要气体原料供应产地，包括氖气、氩气、氪气、氙气等。其中，乌克兰占据全球70%的氖气供应量。

咨询机构Techcet则在2月1日发布报告指出，美国半导体产业依赖俄罗斯出产的C4F6（全氟丁二烯）、氖气及钯金。其中，美国所需要的氖气几乎全部来自俄罗斯和乌克兰，而且俄罗斯为全球33%的钯金需求量供货。

半导体业检查供应链

在制造过程中用到氖气等特种气体的半导体厂商，近期不得不检查自己的供应链完整性，比如清点特气库存量等。在电子行业中，氖气等惰性气体用途良多。

中国台湾的晶圆代工厂联电表示，联电的电子特气供应有多重来源，不会依赖单一供应商，能够找到替代货源。

美国存储芯片大厂美光方面，其CEO梅罗塔(SanjayMehrotra)近日向媒体表示，有一小部分惰性气体是来自乌克兰，但有大量库存，并有包括美国、欧盟和亚洲等多方的供应来源。他表示，相信惰性气体“供应链情况尚且良好”。

韩国存储芯片大厂SK海力士方面，其社长李锡熙日前也表示，SK海力士已确保大量惰性气体库存，“有做好相当准备，应该不必过度担心。”

此外，荷兰光刻机巨头ASML（阿斯麦）收到大量的市场关注，因惰性气体主要使用在光刻机中。ASML发言人表示，尽管乌克兰是世界上最大的氖气生产国，但ASML使用的氖气中只有不到20%来自该国。

全球最大的工业用气制造商林德气体（LindeGas）介绍称，位于元素周期表第十八列的稀有气体在电子制造工艺中“不可或缺”。受到高度关注的氖气在DUV（深紫外激光）光刻中角色重要。

氖气化学符号是Ne，氖气纯气或混合气充入通电玻璃管或灯泡，可以发出荧光色的光，制成“霓虹灯”，而“霓虹”就是氖气英文名neon的音译。在DUV激光平板印刷中，随着尖端芯片设计日趋复杂，DUV采用了多图案平板印刷技术，而且晶圆片的直径也在持续增长，这些都增大了光蚀刻对氖气的使用量。

据中国工业气体工业协会介绍，激光气体是98+％的氖气与其他稀有气体（氩气、氪气、氙气）和卤素（通常为氟气）的混合物。

从马里乌波尔到晶圆厂

在抵达晶圆厂之前，氖气需要多重加工，不同工艺对于特种气体的纯度和比例要求不同。当前，全球特种气体市场主要由6大公司把控，将左右着电子特气的价格走势。

2021年美国白宫发布的供应链100天调查报告称，美国、日本、法国把控着全球半导体用特种气体的生产。其中，前六大电子特气供应商控制了全球市场约一半的份额，包括美国VersumMaterials、韩国SKMaterials、日本大阳日酸、法国液化空气（AirLiquide）、已合并的林德集团和普莱克斯（英国/美国）和日本KDK，剩余的一半市场则被约50家供应商瓜分。

多家特气供应商在2月27日尚未向南方财经全媒体记者提供DUV用氖气混合物的报价。从全球电商网站上查询的低纯度氖气报价看，当前产自中国、纯度为99.999%的氖气混合物每立方米报价为20美元至49美元，尚未出现价格飙涨。

除了马里乌波尔，敖德萨、基辅等处于地缘政治漩涡的城市，也分布着大规模的特气工厂，从这些城市到全球的半导体工厂，构成一条很长的氖气供应链，影响着全球半导体供应链的微妙平衡。

马里乌波尔位于亚速海之滨，马里乌波尔港常年来往着三大类货船：冶金制品、煤炭、粮食。不过，在全球半导体供应链本已相当紧张的背景下，工业特气的船只引发更多关注的目光。

（作者：南方财经全媒体记者江月编辑：和佳）

上一篇：

下一篇：